1.真空泵用于抽潔凈氣體，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體或者蒸汽、化學品、溶劑及粉末等。如易燃氣體、含國家特殊化學品規(guī)定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體、或半導體工藝中高濃度氣體、有機溶劑、結(jié)晶氣體等。這些氣體容易使軸承失效。

2.進氣溫度必須低于50℃，否則在被抽真空室與泵進氣口之間必須加冷阱，降溫至低于50℃。

3.抽含有水蒸汽的氣體時，要打開氣鎮(zhèn)閥抽氣，被抽氣體水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超過此極限，將會縮短氣鎮(zhèn)閥壽命。

4.真空泵不能在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽環(huán)境中工作，否則會有爆炸、火災等危險。

5.不要由一兩個人移動此泵。此由專業(yè)人員搬運、安裝、配置、配線、操作、維護和檢查，否則會有觸電、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險。

6.不要繼續(xù)使用已經(jīng)損壞的泵，否則會有受傷、觸電甚至被抽系統(tǒng)損壞等危險。

7.檢查確定此泵安全接地。

8.此泵工作過程中或剛停機時不要接觸泵電機或金屬部件（因為工作時很熱，最高可能達到70℃）。如確實需要接觸，采取必要防護措施防止受傷。

9.必須安裝電機保護開關(guān)。

10.不要刮碰進氣口與排氣口法蘭，以免損壞法蘭口，導致真空度上不去。

11.在進氣口處裝截止閥。真空泵停止后進氣口處真空度降低，是因為排氣口處的大氣返至進氣口處，不是真空泵的原因。如要保證真空室內(nèi)的真空度，要在真空室與泵之間安裝截止閥。

12.排氣口處要接排氣管，以防灰塵進入泵內(nèi)。